Datblygwyd technoleg TFT yn y 1990au. Mae'n mabwysiadu deunyddiau newydd a phrosesau newydd ar gyfer technoleg gweithgynhyrchu cylched integredig lled-ddargludyddion ar raddfa fawr. Fe'i defnyddir ar gyfer arddangosfeydd panel fflat crisial hylifol (LC), anorganig ac organig ffilm denau (EL ac OEL). sail. Mae TFT yn wafer nad yw'n sengl fel swbstrad gwydr neu blastig (wrth gwrs, gall hefyd fod ar wafer) trwy brosesau sputtering a dyddodiad cemegol i ffurfio ffilmiau amrywiol sy'n angenrheidiol ar gyfer cynhyrchu cylchedau, a chylchedau integredig lled-ddargludyddion ar raddfa fawr (LSIC ) yn cael eu cynhyrchu trwy brosesu'r ffilmiau. . Gall defnyddio swbstradau grisial nad ydynt yn sengl leihau costau yn fawr, ac mae'n estyniad o gylchedau integredig traddodiadol ar raddfa fawr i gyfarwyddiadau ardal fawr, aml-swyddogaeth a chost isel. Mae'n anoddach yn dechnegol cynhyrchu TFTs sy'n rheoli perfformiad newid picseli (LC neu OLED) ar swbstradau gwydr neu blastig ardal fawr na chynhyrchu ICs ar raddfa fawr ar wafferi silicon. Y gofynion ar gyfer yr amgylchedd cynhyrchu (gradd puro yw 100), y gofynion ar gyfer purdeb deunyddiau crai (purdeb nwy arbennig electronig yw 99.999985%), ac mae'r gofynion ar gyfer offer cynhyrchu a thechnoleg gynhyrchu yn fwy nag integreiddio lled-ddargludyddion ar raddfa fawr. . Dyma frig cynhyrchu modern ar raddfa fawr. technoleg. Ei brif nodweddion yw:
(1) Ardal fawr: Rhoddwyd y genhedlaeth gyntaf o linell gynhyrchu TFT-LCD y swbstrad gwydr ardal fawr (300mm × 400mm) ar waith yn gynnar yn y 1990au. Erbyn hanner cyntaf 2000, roedd arwynebedd y swbstrad gwydr wedi'i ehangu i 680mm × 880mm), a maint y swbstrad gwydr oedd 950mm × 1200mm. Bydd y swbstrad gwydr hefyd yn cael ei roi ar waith. Mewn egwyddor, nid oes cyfyngiad ardal.
(2) Integreiddiad uchel: Mae gan y sglodyn TFT 1.3 modfedd a ddefnyddir ar gyfer taflunio grisial hylif ddatrysiad o XGA sy'n cynnwys miliynau o bicseli. Dim ond 50nm yw trwch ffilm y silicon amorffaidd arae TFT 16.1-modfedd gyda phenderfyniad o SXGA (1280 × 1024), a thechnolegau TAB ON GLASS a SYSTEM ON GLASS, integreiddio ei IC, y gofynion ar gyfer technoleg offer a chyflenwi. , a'r anhawster technegol Mae pob un yn fwy na'r LSI traddodiadol.
(3) Swyddogaethau pwerus: Defnyddiwyd TFT gyntaf fel cylched lleoliad matrics i wella nodweddion falf ysgafn crisialau hylif. Ar gyfer arddangosfeydd cydraniad uchel, trwy reoleiddio foltedd yn yr ystod 0-6V (0.2 i 4V yn nodweddiadol), cyflawnir rheolaeth fanwl ar y gwrthrych, gan ei gwneud yn bosibl i LCD gyflawni arddangosfeydd cydraniad uchel o ansawdd uchel. TFT-LCD yw'r arddangosfa banel fflat gyntaf yn hanes dyn sy'n fwy na CRT o ran ansawdd arddangos. Ac mae pobl yn dechrau integreiddio'r IC gyrrwr ar y swbstrad gwydr, a bydd swyddogaeth y TFT cyfan yn fwy pwerus, sy'n ddigymar gan gylchedau integredig lled-ddargludyddion traddodiadol ar raddfa fawr.
(4) Cost isel: Mae'r swbstrad gwydr a'r swbstrad plastig yn datrys problem cost cylchedau integredig lled-ddargludyddion ar raddfa fawr yn sylfaenol, ac yn agor gofod ymgeisio eang ar gyfer defnyddio cylchedau integredig lled-ddargludyddion ar raddfa fawr.
